DiaTHEMA
Sintesi
Microfabbricazione 2D-3D con laser al fs e uFAB
Attraverso l'uso di sorgenti laser al fs possono essere ottenute, con alta riproducibilità e periodicità, micro e nano strutturazioni superficiali dei materiali la cui risoluzione supera il limite di diffrazione. Il superamento di tale limite rende la tecnica unica e irrealizzabile con sistemi ottici standard, permettendo di modificare in modo relativamente semplice le proprietà chimico-fisiche della superficie dei materiali.
Reattori per CVD
- MICROVAWE-ENHANCED CVD
Setup per la crescita di strati di diamante policristallino e diamondlike-carbon (DLC) tramite tecnica assistita da plasma a microonde CVD (MWCVD)
- HOT-FILAMENT CVD Setup dedicato alla sintesi di diamante policristallino mediante l'uso di filamenti caldi (Hot-Filament CVD - HFCVD)
Evaporatore da fascio elettronico
Setup dedicato alla deposizione di film sottili e ultra-sottili depositati per evaporazione da fascio elettronico
Sistema di deposizione a laser pulsato
Setup dedicato alla sintesi di film sottili mediante Pulsed Laser Deposition (PLD) in alto vuoto (HV) o atmosfera gassosa reattiva
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